ZEISS PRISMO ultra'nın yüksek temel doğruluk derecesi, çok sayıda modern işlev ve düzeltme ile elde edilir. Bunlar arasında termal eğilme kompanzasyonu, aktif pnömatik sönümleme sistemi, geliştirilmiş hava yatakları ve olağanüstü hassasiyet ve kararlılık için 20 nm çözünürlüğe sahip ZERODUR® ölçekler bulunmaktadır. Optimize edilmiş tensör kalibrasyonu, referans kürenin eğilme kompanzasyonu ve RT ölçümleri için düzeltmeler gibi diğer CAA iyileştirmeleri, yüksek hızlarda bile maksimum hassasiyet sağlar ve CMM sisteminin kararlılığını koruyarak dış etkenlerden kaynaklanan hataları önler.